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　　7月18日消息，国家知识产权局信息显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请一项名为“洁净机器人末端执行器的恒力控制方法与系统”的专利。申请公布号为CN122401381A，申请号为CN202610462902.X，申请公布日期为2026年7月17日，申请日期为2026年4月9日，发明人吕忠伟，专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司，专利代理师赵娜，分类号B25J9/16、B25J15/08、G05D15/01。

　　专利摘要显示，本发明提供一种洁净机器人末端执行器的恒力控制方法与系统，涉及半导体技术领域，对洁净机器人末端执行器传输晶圆的过程进行力学分析，确定最小、最大晶圆夹持力；以最小、最大晶圆夹持力为约束，基于末端执行器的运动速度和晶圆厚度，确定末端执行器在传输晶圆的每个阶段的夹持力；基于末端执行器在传输晶圆的每个阶段的夹持力，确定末端执行器在传输晶圆的每个阶段对应的控制指令，将控制指令发送至末端执行器的控制系统以实现对末端执行器的恒力控制。本发明通过力学分析确定最小、最大晶圆夹持力，进而确定对应的控制指令，避免夹持力过大导致晶圆变形或边缘破损的情况，也可避免夹持力过小导致晶圆滑片或掉落的情况。

　　京仪装备是国内半导体设备细分领域领先厂商，核心主营半导体专用温控等设备，具备深厚技术积累与产业链配套优势。公司成立于2016年6月30日，于2023年11月29日登陆上海证券交易所，注册及办公地点均位于北京市。

　　京仪装备主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，核心产品覆盖半导体专用温控设备（Chiller）、半导体专用工艺废气处理设备（Local Scrubber）与晶圆传片设备（Sorter）。从分类来看，公司所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，同时布局北京国资、中芯国际概念、半导体设备三大热门概念板块。

　　2025年，京仪装备实现营业收入14.26亿元，在26家同行业企业中排名第13位，低于行业40.12亿元的平均营收水平，略高于13.86亿元的行业中位数，同期行业内营收排名前两位的企业分别为北方华创（393.53亿元）、中微公司（123.85亿元）。营收结构方面，半导体专用温控设备贡献9.37亿元，占比65.70%；半导体专用工艺废气处理设备贡献3.48亿元，占比24.41%；零配件及支持性设备、晶圆传片设备、维护维修等服务、废品出售分别实现营收8356.41万元、3564.42万元、2143.38万元、53.66万元，占比依次为5.86%、2.50%、1.50%、0.04%。同期公司实现净利润1.48亿元，行业排名第14位，低于5.9亿元的行业平均净利润水平与1.62亿元的行业中位数，行业内净利润前两位企业分别为北方华创（54.09亿元）、中微公司（20.64亿元）。

• 指标类型
• 核心数据
• 行业排位/对比基准
• 2025年营业收入14.26亿元13/26，行业均值40.12亿元，行业中位数13.86亿元
• 2025年净利润1.48亿元14/26，行业均值5.9亿元，行业中位数1.62亿元
• 核心产品营收占比半导体专用温控设备65.70%、工艺废气处理设备24.41%两大核心产品合计贡献超九成营收

　　北京京仪自动化装备技术股份有限公司近期专利情况如下：

• 序号
• 专利名称
• 专利类型
• 法律状态
• 申请号
• 申请日期
• 公开(公告)号
• 公开(公告)日期
• 发明人
• 1一种EUV工艺废气处理装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610570921.42026-04-28CN122107405A2026-05-29宁腾飞、席涛涛、张京华、杨春涛、王帅、于浩辉、杜佳亮、闫潇、周光飞、赵明杰、王贤麟、张坤、杨春水、丁树园
• 2一种EUV工艺废气处理装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610570920.X2026-04-28CN122107404A2026-05-29宁腾飞、许信、张京华、王帅、杜佳亮、于浩辉、于贺杰、闫潇、赵明杰、周光飞、王贤麟、张坤、杨春水
• 3一种自锁安全控制电路发明专利公布CN202610498786.72026-04-15CN122363004A2026-07-10陈富强、杨子臣、丁金龙、陈杰、董红臣
• 4洁净机器人末端执行器的恒力控制方法与系统发明专利公布CN202610462902.X2026-04-09CN122401381A2026-07-17吕忠伟
• 5半导体制程废气的处理装置及其方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610395587.32026-03-27CN122209185A2026-06-16王松
• 6一种用于宽流量范围氢气废气的焚烧方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610382924.52026-03-26CN122281296A2026-06-26杨春涛、席涛涛、杨春水、张坤
• 7一种全氟化合物的处理方法、系统、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610299380.62026-03-12CN122183346A2026-06-12于贺杰、席涛涛、宁腾飞、杨春涛、蔡传涛、杨琪
• 8一种半导体废气处理系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610235623.X2026-02-27CN121927390A2026-04-28于贺杰、席涛涛、杨春涛、宁腾飞、蔡传涛、杨琪、张坤
• 9一种复合涂层及其制备方法与应用发明专利公布CN202610235144.82026-02-27CN122358277A2026-07-10刘玮、李国生、杨春水
• 10一种爪式转子结构发明专利实质审查的生效、公布CN202610225271.X2026-02-25CN121932378A2026-04-28王继飞
• 11一种爪式转子结构发明专利实质审查的生效、公布CN202610225270.52026-02-25CN121952869A2026-05-01王继飞
• 12一种废气处理设备进气装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610173060.62026-02-06CN121782583A2026-04-03张京华、宁腾飞、张坤、杨春水
• 13燃烧水洗式半导体废气处理装置和废气处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610176098.92026-02-06CN122216621A2026-06-16于贺杰、王继飞、张坤、宁腾飞、杜佳亮
• 14一种晶圆映射机构及晶圆存储系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610167198.52026-02-05CN121985765A2026-05-05李宁宁
• 15电子膨胀阀驱动装置和制冷设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610137006.62026-01-30CN122015350A2026-05-12陈杰
• 16晶圆缓存设备及其防撞控制方法和晶圆生产线发明专利实质审查的生效、公布CN202610075841.12026-01-20CN122138655A2026-06-02吕维迪、孙敬雷、梁小影
• 17机器人、晶圆缓存设备和晶圆盒的抓取方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610075302.82026-01-20CN122161391A2026-06-05吕维迪、孙敬雷、梁小影
• 18一种晶圆真空吸附机械手发明专利实质审查的生效、公布CN202610066231.52026-01-19CN121888921A2026-04-17李宁宁
• 19重复定位精度的检测设备及检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610062878.02026-01-16CN122094467A2026-05-26孙晓东
• 20一种机械手奇异点控制方法、装置、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610011983.12026-01-06CN121515214A2026-02-13梁小影、吕维迪
• 21一种晶圆存储盒及使用方法发明专利公布CN202610006507.02026-01-05CN121815997A2026-04-07赵佳强、赵雷、张朝阳、韩立昌
• 22一种基于多通道阵列的温度控制方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610002110.42026-01-04CN121857866A2026-04-14杨子臣、丁金龙、周亮
• 23半导体温控系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610002223.42026-01-04CN121855115A2026-04-14何滔
• 24真空机械手指的测试装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610002083.02026-01-04CN121877300A2026-04-17李宁宁
• 25工业设备的通信方法、装置、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610002138.82026-01-04CN122053715A2026-05-15石尚、丁金龙、徐鑫伟、陈杰、董红臣
• 26用于真空泵吹扫的气体检测装置及气体检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610002245.02026-01-04CN122041960A2026-05-15刘飞腾、丁金龙、杨子臣、陈富强
• 27一种位置示教装置及示教方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610002279.X2026-01-04CN122069979A2026-05-19杜子豪、杨森元
• 28一种废气处理设备的压力控制方法、装置、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511901562.82025-12-16CN121764223A2026-03-31张昱翀、高智雪、于贺杰、宗国泰、刘昭雲、谷存帅
• 29一种交错并联Buck变换器的均流控制系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511819611.32025-12-04CN121585005A2026-02-27石尚、丁金龙、徐鑫伟、陈杰、廖博轩
• 30半导体工业废气处理方法及系统发明专利授权CN202511785798.X2025-12-01CN121222235B2026-03-03于贺杰、曹小康、张坤、席涛涛、蔡传涛、宁腾飞、杨琪
• 31基于等离子活化水的NO发明专利授权CN202511785801.82025-12-01CN121222249B2026-03-27于贺杰、曹小康、张坤、席涛涛、蔡传涛、宁腾飞
• 32基于预测的半导体工艺温度控制方法、装置及电子设备发明专利公布CN202511772484.62025-11-28CN121680516A2026-03-17薛山、于浩、周亮、张浩
• 33无接触式气悬浮超薄晶圆翻片装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511772490.12025-11-28CN121772666A2026-03-31侯宝江
• 34水箱组件、废气处理设备及废气处理控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511732628.52025-11-24CN121371852A2026-01-23杨春涛、席涛涛、乔伟超、张坤、杨春水
• 35半导体温控设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511729217.02025-11-24CN121742553A2026-03-27张浩
• 36晶圆物料盒和晶圆物料盒支撑架发明专利公布CN202511723355.82025-11-21CN121665992A2026-03-13张朝阳、赵雷、李宁宁
• 37一种晶圆储料器发明专利授权CN202511705951.32025-11-20CN121171945B2026-03-06吕忠伟、孙敬雷
• 38一种晶圆储料装置发明专利公布CN202511710701.92025-11-20CN121626582A2026-03-10赵雷
• 39等离子火炬（PW3000）外观专利授权CN202530685386.32025-11-20CN310018973S2026-06-05章文军
• 40等离子火炬（PW1000）外观专利授权CN202530684599.42025-11-20CN310018972S2026-06-05章文军
• 41废气处理设备仿真模拟试验平台外观专利授权CN202530685700.82025-11-20CN310055412S2026-06-26许信
• 42废气处理设备试验测试平台外观专利授权CN202530685594.32025-11-20CN310051783S2026-06-26许信
• 43一种废气处理设备的监控方法、系统、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511683863.82025-11-17CN121411371A2026-01-27王潇、徐鑫伟、丁金龙、杨子臣
• 44晶圆倒片机的校点装置及方法、电子设备、存储介质和计算机程序产品发明专利公布CN202511677080.92025-11-14CN121693064A2026-03-17韩九阳
• 45氢气废气处理设备外观专利授权CN202530673856.42025-11-14CN310053990S2026-06-26张京华、宁腾飞
• 46一种快速控温方法、温控系统、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511657775.02025-11-12CN121143540A2025-12-16芮守祯、于浩、孙硕、李卓昆、董春辉、曹小康、何茂栋
• 47一种用于半导体温控设备的EtherCAT从站网关发明专利授权CN202511641334.12025-11-11CN121098666B2026-03-27徐鑫伟、陈富强、丁金龙、陈杰
• 48用于温控设备的分流调节设备及方法、温控设备及半导体制程系统发明专利公布CN202511635697.42025-11-10CN121680514A2026-03-17张浩
• 49一种差分信号的模数转换电路及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511592163.82025-11-03CN121770522A2026-03-31廖博轩、丁金龙、石尚
• 50真空泵罩壳外观专利授权CN202530625389.82025-10-24CN310018744S2026-06-05王继飞、杨春水、李国生