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【导语】在微米级精密任务面前，协作机器人面临核心动力单元DD马(mǎ)达(dá)旋(xuán)转(zhuǎn)精(jīng)度(dù)的(de)隐(yǐn)形(xíng)挑(tiāo)战(zhàn)。如(rú)何(hé)确(què)保(bǎo)其(qí)旋(xuán)转(zhuǎn)精(jīng)度(dù)达(dá)到(dào)角(jiǎo)秒(miǎo)级(jí)？SJ6000激(jī)光(guāng)干(gàn)涉(shè)仪(yí)搭(dā)配(pèi)角(jiǎo)度(dù)反(fǎn)射(shè)镜(jìng)组(zǔ)与(yǔ)WR50自(zì)动(dòng)精(jīng)密(mì)转(zhuǎn)台(tái)提(tí)供(gōng)了(le)解(jiě)决(jué)方(fāng)案(àn)，测(cè)量(liàng)精(jīng)度(dù)高(gāo)达(dá)±1″，分辨力达0.01″。从汽车装配到芯片制造，激光干涉仪等精密测量仪器正默默守护协作机器人的高效精准运行，重塑产业未来。

当协作机器人需要执行微米级的精密任务时，一个隐形挑战浮出水面：如何确保其核心动力单元DD马达的旋转精度达到角秒级？答案藏在一束激光的干涉条纹之中。

解决方案：

SJ6000激光干涉仪+角度反射镜组+WR50自动精密转台，测量精度：±1″；分辨力：0.01″。

DD马达旋转角度测量示意图

测量流程：

将WR50自动精密转台固定在马达轴心，其顶部反设镜可相对基座反向旋转，反射镜始终与激光束角度锁定在0.5度内，转台每旋转5°，反射镜即反向旋转5°，此时软件将WR50的精密圆光栅角度值和SJ6000的角度值进行合并计算，得出马达实际转动的角度。

激光干涉仪测量结束后自动进行补偿，确保DD马达旋转精度符合要求。

补偿前数据

补偿后数据

从汽车工(gōng)厂(chǎng)的(de)装(zhuāng)配(pèi)线(xiàn)到(dào)无(wú)尘(chén)室(shì)里(lǐ)的(de)芯(xīn)片(piàn)制(zhì)造(zào)，协(xié)作(zuò)机(jī)器(qì)人(rén)正(zhèng)以(yǐ)人(rén)类(lèi)般(bān)的(de)灵(líng)巧(qiǎo)重(zhòng)塑(sù)产(chǎn)业(yè)。而在这背后，是以激光干涉仪为代表的精密测量仪器的默默守护，为协作机器人的安全高效精准运行保驾护航。