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【导语】当协作机器人执行微米级精密任务时，确保DD马达旋转精度达到角秒级成为一大挑战。SJ6000激光干涉仪搭配角度反射镜组与WR50自动精密转台，以±1″的测量精度和0.01″的分辨力，为DD马达旋转角度提供精准测量。这一解决方案不仅提升了协作机器人的运行精度，更在汽车制造、芯片生产等多个领域重塑产业格局，而精密测量仪器正是其(qí)背(bèi)后(hòu)的(de)默(mò)默(mò)守(shǒu)护(hù)者(zhě)。

当(dāng)协(xié)作(zuò)机(jī)器(qì)人(rén)需(xū)要(yào)执(zhí)行微米级的精密任务时，一个隐形挑战浮出水面：如何确保其核心动力单元DD马达的旋转精度达到角秒级？答案藏在一束激光的干涉条纹之中。

解决方案：

SJ6000激光干涉仪+角度反射镜组+WR50自动精密转台，测量精度：±1″；分辨力：0.01″。

DD马达旋转角度测量示意图

测量流程：

将WR50自动精密转台固定在马达轴心，其顶部反设镜可相对基座反向旋转，反射镜始终与激光束角度锁定在0.5度内，转台每旋转5°，反射镜即反向旋转5°，此时软件将WR50的精密圆光栅角度值和SJ6000的角度值进行合并计算，得出马达实际转动的角度。

激光干涉仪测量结束后自动进行补偿，确保DD马达旋转精度符合要求。

补偿前数据

补偿后数据

从汽车工厂的装配线到无尘室里的芯片制造，协作机器人正以人类般的灵巧重塑产业。而在这背后，是以激光干涉仪为代表的精密测量仪器的默默守护，为协作机器人的安全高效精准运行保驾护航。